adCLUSTER
Mit der Adenso VAC.ROBOTICS-Plattform erhalten sie auf einfache weise sehr komplexe Vakuumsysteme, insbesondere DUAL.CLUSTER anlagen, und verdoppeln so Ihre Vakuumprozessumgebung. die erprobten LINK.Module verbinden einzelne Cluster-Werkzeuge zu einem einzigen vakuumraum.
adCLUSTER lösungen ermöglichen so die Bearbeitung von Substraten in deutlich mehr Prozessstationen als üblich bei minimalem Platzbedarf – und das ohne den Vakuumraum zu verlassen, d. h. ohne jeglichen Einfluss von Sauerstoff, Feuchtigkeit, Partikeln usw.
adCLUSTER nutzt die modulare Struktur des Adenso – Cluster-Betriebssystems adControl. Dadurch können Sie Ihre CLUSTER.Tools ganz einfach konfigurieren oder erweitern.
Ihre Vorteile
- Verbindung mehrerer Clusteranlagen per LINK.Module
- Zusätzliche Ports und damit deutlich mehr Prozesse auf kleinstem Raum
- Substrathandling im gleichen Vakuumraum – kein Kontakt mit Sauerstoff oder Feuchtigkeit zwischen verschiedenen Prozessabläufen
LIM Link.Module
Die Adenso LIM Link.Module ermöglichen die Verbindung des WHM WaferHandling.Moduls zu peripherem Equipment (atmosphärisch oder unter Vakuum) für den Aufbau eines DUAL.CLUSTERS bzw. MULTI.CLUSTERS. Erweitern Sie also auf einfache Weise Ihre bestehende Clusteranlage und verdoppeln Sie Ihre Prozesskapazität, Durchsatz, Effektivität!
Optional erweiterbar mit Heiz- und Druckregeltechnologien
DLM DualLink.Module
Die Adenso DualLinkModule sind speziell gewinkelte Link.Module zur Verbindung eines WHM WaferHandling.Moduls zu peripherem Equipment wie Front End Modules (EFEM). Zur Ausstattung gehört meist eine Dreheinheit TURN. Optional können diese Module ebenso mit verschiedenen Substratheizungen und Vakuumdruckregelungen ergänzt werden
