individuell
Maßgeschneiderte VAC.ROBOTICS Lösungen
- Einfache Live-Konfiguration Ihrer individuellen VAC.ROBOTICS Clusteranlage
- Zeiterspranis für Ihre Anfrage: Download Ihrer individualisierten Adenso Cluster.Platform mit allen Daten
- Integration von bis zu 8 individuellen Ladeports
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Substratgrößen von bis zu 330mm rund und quadratisch
- G12 (210x210mm)
- CoPoS: Gen1 (310x310), Gen2 (515x515), GenX (600x600)
- Hinzufügen von LLM LoadLock.Modulen für das Laden mehrerer Substrate
- Verwenden von LIM LINK.Modulen um komplexe Vakuum.Clusteranlagen zu erstellen.
- Ergänzen Sie verschiedene Erweiterungen für Ihre individuellen Anforderungen.
- Wählen Sie Ihren Automationsgrad (CMD / MASTER / MES - interfacer).
Konfigurieren Sie jetzt Ihr individuelles Adenso WHM Wafer Handling Modul:
individuell