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Adenso VSC

VSC VacuumSuitcase

Das VSC VacuumSuitcase von Adenso ist eine mobile Substrat-Transportlösung für Vakuumsysteme. Mittels Adapterset wird die Transportbox an einen freien Port eines WHM WaferHandling.Modules (oder alternativer Anlagen) angedockt. Der WHR WaferHandling.Robot lädt das entsprechende Substrat in das VSC, welches nach dem Abdocken vakuumdicht zum nächsten Tool transportiert und dort weiter prozessiert werden kann.

Adenso VSC

Ihre Vorteile

Reinraumklassen

CleanTec.Solutions

Unsere Reinraumkabinen können mit optionalen Filter Fan Einheiten (FFU) bis zur ISO-Klasse 5 gemäß DIN EN ISO 14644-1:2015 betrieben werden. Höhere Reinraumklassen bis zur ISO-Klasse 3 realisiert Adenso häufig als Generalunternehmer gemeinsam mit erfahrenen Partnern.

Grundsätzlich sind alle Adenso.Robots bis zur ISO-Klasse 3 ausgelegt.

Adenso Cleanroom Solutions 1810-148_Bearbeitet_more_1000
Adenso Cleanroom Solutions 1810-177_Bearbeitet_more_1000

Sie sind interessiert?
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