Adenso WHM für bis zu 330mm Substatgröße
(RUND und QUADRATISCH)
- G12 (210x210mm)
- CoPoS: Gen1(310×310)/ Gen2(515×515)/ GenX(600×600)
wie auch für Sondersubstratformate
Das von Adenso entwickelte WHM WaferHandling.Module mit einer zentralen Vakuumkammer und integriertem WHR WaferHandling.Robot ist für das Handling von Substraten/Carriern im Hochvakuum (HV) und Ultra-Hochvakuum (UHV) optimiert.
Da das WHM-Modul völlig eigenständig arbeitet, platzsparend ist und sich problemlos an Ihre laufenden Prozessstationen andocken lässt, ist Ihr Vakuum-Cluster-Tool einsatzbereit.
- WHR WaferHandling.Robot
- Vakuumkammer mit 4 bis 8 Ports
- LLM LoadLock.Module
- STEALTH.CARRIER
- WAM WaferAlignment.Module
Das Adenso Cluster.Betriebssystem für die Steuerung der VAC.ROBOTICS-Plattform:
zu adControlAllgemeine Anforderungen
WHM-VAC-4PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 4 Ladeports
WHM-VAC-5PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 5 Ladeports
WHM-VAC-6PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 6 Ladeports
WHM-VAC-7PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 7 Ladeports
WHM-VAC-8PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 8 Ladeports
Robot.Configurator –
Jetzt auf einfache Weise Ihre neue Clusteranlage mit dem ROBOT.Configurator zusammenstellen.
WHR WaferHandling.Robot – die Basis für Handling und Automation
Der Adenso WHR WaferHandling.Robot ist das Herzstück unserer modularen VAC.ROBOTICS Plattform. Der Adenso.WHR übernimmt Handling-Aufgaben von sensiblen und großflächigen Substraten im Bereich VakuumRobotik (Industrial VacBot) und ist für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten optimiert. Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handling-Schwenkbereiche.
Ihre Vorteile im Überblick
- FOOTPRINT: Platzsparende Kinematik – kleiner Aufstellraum
- REICHWEITE: Größte Verfahrwege – maximale Flexibilität
- NUTZLAST: Höchste Belastbarkeit – unbegrenzte Substratauswahl
- GATE VALVE: Intelligente Kinematik – kleinste Absperrschieber
- KOMPLEXITÄT: Keep it simple mit Adenso – Sparen Sie Platz und Geld!
- Substratgrößen bis zu 330 × 330 mm – insbesondere für fortschrittliche Verpackungs- und Quantencomputing-Technologien
- SEMI-Standard-Wafergrößen: 300, 200, 150, 100, 75, 50, 25mm