adCLUSTER
Mit der Adenso VAC.ROBOTICS-Plattform schaffen Sie auf einfache und kompakte Weise komplexe Vakuumanlagen, speziell DUAL.CLUSTER, und verdoppeln damit Ihren Vakuumprozessbereich. Unsere LINK.Module verbinden einzelne Clusteranlagen zu einem großen Vakuumbereich. adCLUSTER ermöglicht damit die Prozessierung von Substraten an deutlich mehr Prozessstationen als üblich, auf einem minimalen Footprint – und das ohne den Vakuumraum zu verlassen, also ohne Einfluss von Sauerstoff, Feuchtigkeit, Partikeln etc.
adCLUSTER nutzt dabei die offene, hardwareunabhängige und flexible Struktur des Adenso Cluster.Betriebssystems adControl. So konfigurieren oder erweitern Sie unkompliziert Ihre DUAL und MULTI.CLUSTER.Solution.
Ihre Vorteile
- Verbindung mehrerer Clusteranlagen per LINK.Module
- Zusätzliche Ports und damit deutlich mehr Prozesse auf kleinstem Raum
- Substrathandling im gleichen Vakuumraum – kein Kontakt mit Sauerstoff oder Feuchtigkeit zwischen verschiedenen Prozessabläufen
LIM Link.Module
Die Adenso LIM Link.Module ermöglichen die Verbindung des WHM WaferHandling.Moduls zu peripherem Equipment (atmosphärisch oder unter Vakuum) für den Aufbau eines DUAL.CLUSTERS bzw. MULTI.CLUSTERS. Erweitern Sie also auf einfache Weise Ihre bestehende Clusteranlage und verdoppeln Sie Ihre Prozesskapazität, Durchsatz, Effektivität!
Optional erweiterbar mit Heiz- und Druckregeltechnologien
DLM DualLink.Module
Die Adenso DualLinkModule sind speziell gewinkelte Link.Module zur Verbindung eines WHM WaferHandling.Moduls zu peripherem Equipment wie Front End Modules (EFEM). Zur Ausstattung gehört meist eine Dreheinheit TURN. Optional können diese Module ebenso mit verschiedenen Substratheizungen und Vakuumdruckregelungen ergänzt werden
