Adenso WHM für 200, 300mm und Sonderformatsubstrate
Das von Adenso entwickelte WHM WaferHandling.Module mit einer zentralen Vakuumkammer und integriertem WHR WaferHandling.Robot ist für das Handling von Substraten/Carriern im Hochvakuum optimiert. Unser WHM WaferHandling.Modul arbeitet komplett autark, ist platzsparend und kann vollständig funktionsbereit unkompliziert an Ihre laufenden Prozess-Stationen angedockt werden – fertig ist Ihre Vakuum.Clusteranlage!
- WHR WaferHandling.Robot
- Vakuumkammer mit 4 bis 8 Ports
- LLM LoadLock.Module
- STEALTH.CARRIER
- WAM WaferAlignment.Module
Das Adenso Cluster.Betriebssystem für die Steuerung der VAC.ROBOTICS-Plattform:
zu adControlAllgemeine Anforderungen
WHM-VAC-4PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 4 Ladeports
WHM-VAC-5PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 5 Ladeports
WHM-VAC-6PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 6 Ladeports
WHM-VAC-7PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 7 Ladeports
WHM-VAC-8PS: Das Adenso WHM WaferHandling.Modul für 200mm oder 300mm Wafer mit 8 Ladeports
Robot.Configurator –
Jetzt auf einfache Weise Ihre neue Clusteranlage mit dem ROBOT.Configurator zusammenstellen.
WHR WaferHandling.Robot – die Basis für Handling und Automation
Der Adenso WHR WaferHandling.Robot ist das Herzstück unserer modularen VAC.ROBOTICS Plattform. Der Adenso.WHR übernimmt Handling-Aufgaben von sensiblen und großflächigen Substraten im Bereich VakuumRobotik (Industrial VacBot) und ist für höchste Tragfähigkeit und große Reichweiten optimiert. Die einfache Armgeometrie erlaubt kleine Gateventile und kompakte Handling-Schwenkbereiche.
Ihre Vorteile im Überblick
- REICHWEITE: Größte Verfahrwege – maximale Flexibilität
- NUTZLAST: Höchste Belastbarkeit – unbegrenzte Substratauswahl
- GATE VALVE: Intelligente Kinematik – kleinste Absperrschieber
- FOOTPRINT: Platzsparende Kinematik – kleiner Aufstellraum
- KOMPLEXITÄT: Keep it simple mit Adenso – Sparen Sie Platz und Geld!