Adenso VSC
VSC VacuumSuitcase
Das VSC VacuumSuitcase von Adenso ist eine mobile Substrat-Transportlösung für Vakuumsysteme. Mittels Adapterset wird die Transportbox an einen freien Port eines WHM WaferHandling.Modules (oder alternativer Anlagen) angedockt. Der WHR WaferHandling.Robot lädt das entsprechende Substrat in das VSC, welches nach dem Abdocken vakuumdicht zum nächsten Tool transportiert und dort weiter prozessiert werden kann.
Adenso VSC
Ihre Vorteile
- Leichte und einfache Bedienung
- Substratversand im Prozessmodus
- Beibehaltung der notwendigen Vakuumumgebung während des Transports
- Geeignet für alle Arten von Substraten – runde oder quadratische Wafer, dünne Wafer und Carrier
- Vakuumabsperrschieber von VAT als etablierter Schnittstellenstandard weltweit
- Mittels Adapter an alle gängigen Clusteranlagen adoptierbar
- Überwindet lokale Geräte- und Ressourcendefizite: Weltweites Andocken an räumlich getrennte Systeme
- … und damit Entstehung neuer Möglichkeiten und Ressourcen für Forschung und Entwicklung!
Reinraumklassen
CleanTec.Solutions
Unsere Reinraumkabinen können mit optionalen Filter Fan Einheiten (FFU) bis zur ISO-Klasse 5 gemäß DIN EN ISO 14644-1:2015 betrieben werden. Höhere Reinraumklassen bis zur ISO-Klasse 3 realisiert Adenso häufig als Generalunternehmer gemeinsam mit erfahrenen Partnern.
Grundsätzlich sind alle Adenso.Robots bis zur ISO-Klasse 3 ausgelegt.
