Projektbericht: Adenso als Partner der Forschungsindustrie bei unserem langjährigen Partner HZDR Innnovation GmbH, Dresden-Rossendorf
”Wafer mit Hochenergie-Ionenimplantation“
Adenso liefert hierzu Produkte und Know-how die direkt vor Ort für die neueste Technologie und später weltweite Produktion genutzt wird.
Der Adenso-Reinraum mit ca. 60qm in Reinraumklasse ISO6 (5) ist installiert und in Betrieb genommen.
Die Prozesskammer mit Adenso WHM WaferHandlingModule ist geliefert und die Inbetriebnahme an der Beamline ist gestartet. Funktionen werden getestet und die Prozesse schrittweise in Betrieb genommen und die Produktion angefahren.In einigen Wochen ergänzt ein Adenso DTS220X Device Tester Sorter im Reinraum, welcher die automatische Umsortierung der Wafer übernimmt, um einen potenziellen Durchsatz abbilden zu können.
Die neue Forschungs-Anlage besteht u.a. aus diesen Adenso-Produkten:
- Reinraum CLE 005
- Implantermodul WHM230I
- MP -Sorter DTS220X
Das Implantermodul setzt sich zusammen aus einem serienmäßigen Handlingmodul aus der Adenso WHM230-Baureihe und einem kundenspezifischen Prozessmodul.
Implantermodul und Sorter sind jeweils mit der Adenso-Anlagensteuerung ausgestattet, welche mit einer übersichtlichen und einfach zu bedienenden Bedienerschnittstelle und Visualisierung (HMI) ausgestattet wurde.
Adenso hat bereits mehr als 300 Projekte erfolgreich realisiert und mehr als 80 WHR WaferHandlingRobot geliefert, vorzugsweise für die Produktion von Halbleitern.
Ihr Ansprechpartner und Experte bei Adenso:
Uwe Beier, Geschäftsführer
Tel: +49 351 79 59 79 7-0
uwe.beier@adenso.de
Dazu der Pressebericht der Sächsischen Zeitung vom 27.09.2018
HZDRinews-AdensoClusterAnlage.pdf
Die HZDR Innovation GmbH wurde vom Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) und der GWT-TUD GmbH mit dem Ziel gegründet, die vorhandenen, teilweise weltweit einzigartigen Infrastrukturen am HZDR bestmöglich zu nutzen. Die HZDR Innovation GmbH nutzt hierfür die Geräte und Technologien im Ionenstrahlzentrum, um die Ausgangsmaterialien durch Ionenimplantation widerstandsfähiger, beständiger und effizienter zu machen.
„Die Nutzung des Ionenstrahlzentrums für industrielle Aufträge aus der Medizintechnik, der Halbleiter- und Automobilindustrie, steigt an und gehört somit zu den wichtigsten internationalen Nutzerzentren.“
sagt der Geschäftsführer der HZDRi, Prof. Andreas Kolitsch.
