Netzwerk und starke Partner
Bundesministerium für Bildung und Forschung
Das Bundesministerium für Bildung und Forschung fördert das Kooperations-Projekt:
FKZ: 03WKDF4A „Glas-Sensorik im SOC-Energiewandler”
Europa fördert Sachsen
• Messen, Aussenwirtschaft: LOPEC 2019
• Messen, Aussenwirtschaft: Semicon 2019
• Messen, Aussenwirtschaft: SemiExpo Russia 2019
• Messen, Aussenwirtschft: nano tech 2018
• Messen, Aussenwirtschaft: Semicon Europa 2017
• Messen, Aussenwirtschaft: LOPEC 2017
• InnoExpert
• FuE Verbundprojektförderung
• Innovationsprämie
Das Ziel des Vorhabens besteht in der Erweiterung der Steuerung des Handlingroboters WHR um Funktionen zum Substrat-Tracking in der Anlage. Das umfasst Funktionen zur Kommandierung von Load-Lock-Modulen, zum Erfassen von Substraten in Transportkassetten (Mapping) sowie zur Lokalisierung der Substrate in der Anlage. Darüber hinaus wird das WHR-Protokoll um zusätzliche Befehle zur externen Kommandierung erweitert und die Inbetriebnahme- und Parametrierungssoftware ServiceTerminal um Funktionen zum Monitoring der Substrate in der Anlage.
Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Finanziert von der Europäischen Union:
