Spezielle Handlingeinheiten für vertikale Handlingaufgaben
Vertrauen Sie auf die erprobten Handling.Lösungen der Adenso VAC.ROBOTICS Plattform und seien Sie damit vorbereitet auf die rasch steigenden Kunden- und Prozessanforderungen
VERTICAL MASK / SUBSTRATE HANDLING
wird zunehmend wichtiger für empfindliche Substrate und neue Prozesstechnologien in den Bereichen Implantation, Lithografie, AtomicLayer-Etching/Deposition (ALE/ALD), advacnced Packaging und Testing.
„VERTICAL“ bezieht sich hier auf eine vertikal ausgerichtete räumliche Lage des Substrats während des Prozesshandlings.
Die Anforderungen an die Kinematik und die Echtzeitsteuerung vertikaler Handhabungsprozesse (im Vergleich zu einfachen horizontalen Varianten) sind enorm – daher ist es gut zu wissen, dass diese Lösungen bereits verfügbar sind und sich in der Praxis in großen Fertigungsanlagen bewährt haben.
Verfügbar für ATM, HVAC, UHV.
Ihre Vorteile
- optimierte Transportlage für sensible Substrate
- direktes Be-/Entladen in Prozesslage
- keine unnötigen kippbewegungen